七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)流(Liu)量(Liang)计(Ji)

七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)流(Liu)量(Liang)计(Ji)

质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)和(He)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)使(Shi) 用(Yong) 手(Shou) 册(Ce)1. 使(Shi)用(Yong)须(Xu)知(Zhi)尊(Zun)敬(Jing)的(De)用(Yong)户(Hu)，(?)感(Gan)谢(Xie)您(Nin)购(Gou)买(Mai)本(Ben)公(Gong)司(Si)生(Sheng)产(Chan)的(De) D07 系(Xi)列(Lie)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)/质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)产(Chan)品(Pin)。(?)本(Ben)手(Shou)册(Ce)详(Xiang)细(Xi)叙(Xu)述(Shu)了(Liao)正(Zheng)确(Que)、(?)安(An)全(Quan)使(Shi)用(Yong)该(Gai)系(Xi)列(Lie)产(Chan)品(Pin)的(De)必(Bi)要(Yao)事(Shi)项(Xiang)。(?)产(Chan)品(Pin)使(Shi)用(Yong)者(Zhe)，(?)请(Qing)务(Wu)必(Bi)认(Ren)真(Zhen)参(Can)阅(Yue)本(Ben)手(Shou)册(Ce)并(Bing)理(Li)解(Jie)后(Hou)使(Shi)用(Yong)，(?)在(Zai)使(Shi)用(Yong)过(Guo)程(Cheng)中(Zhong)，(?)请(Qing)注(Zhu)意(Yi)带(Dai)有(You) 标(Biao)志(Zhi)的(De)文(Wen)字(Zi)及(Ji)注(Zhu)意(Yi)事(Shi)项(Xiang)中(Zhong)包(Bao)含(Han)的(De)所(Suo)有(You)内(Nei)容(Rong)。(?)对(Dui)于(Yu)未(Wei)按(An)照(Zhao)使(Shi)用(Yong)手(Shou)册(Ce)使(Shi)用(Yong)造(Zao)成(Cheng)的(De)财(Cai)产(Chan)损(Sun)失(Shi)或(Huo)人(Ren)身(Shen)伤(Shang)害(Hai)，(?)本(Ben)公(Gong)司(Si)有(You)权(Quan)不(Bu)承(Cheng)担(Dan)责(Ze)任(Ren)。(?)本(Ben)手(Shou)册(Ce)对(Dui)您(Nin)安(An)装(Zhuang)、(?)维(Wei)护(Hu)及(Ji)故(Gu)障(Zhang)维(Wei)修(Xiu)时(Shi)，(?)请(Qing)妥(Tuo)善(Shan)留(Liu)存(Cun)保(Bao)管(Guan)。(?)2. 用(Yong)途(Tu)和(He)特(Te)点(Dian)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)(Mass Flow Meter 缩(Suo)写(Xie)为(Wei) MFM)用(Yong)于(Yu)对(Dui)气(Qi)体(Ti)的(De)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)进(Jin)行(Xing)精(Jing)密(Mi)测(Ce)量(Liang)；(?)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)(Mass Flow Controller 缩(Suo)写(Xie)为(Wei) MFC)用(Yong)于(Yu)对(Dui)气(Qi)体(Ti)的(De)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)进(Jin)行(Xing)精(Jing)密(Mi)测(Ce)量(Liang)和(He)控(Kong)制(Zhi)。(?)它(Ta)们(Men)在(Zai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)微(Wei)电(Dian)子(Zi)工(Gong)业(Ye)、(?)特(Te)种(Zhong)材(Cai)料(Liao)研(Yan)制(Zhi)、(?)化(Hua)学(Xue)工(Gong)业(Ye)、(?)石(Shi)油(You)工(Gong)业(Ye)、(?)医(Yi)药(Yao)、(?)环(Huan)保(Bao)和(He)真(Zhen)空(Kong)等(Deng)多(Duo)种(Zhong)领(Ling)域(Yu)的(De)科(Ke)研(Yan)和(He)生(Sheng)产(Chan)中(Zhong)有(You)着(Zhuo)重(Zhong)要(Yao)的(De)应(Ying)用(Yong)。(?)其(Qi)典(Dian)型(Xing)的(De)应(Ying)用(Yong)场(Chang)合(He)包(Bao)括(Kuo): 电(Dian)子(Zi)工(Gong)艺(Yi)设(She)备(Bei),如(Ru)扩(Kuo)散(San)、(?)氧(Yang)化(Hua)、(?)外(Wai)延(Yan)、(?)CVD、(?)等(Deng)离(Li)子(Zi)刻(Ke)蚀(Shi)、(?)溅(Jian)射(She)、(?)离(Li)子(Zi)注(Zhu)入(Ru); 以(Yi)及(Ji)真(Zhen)空(Kong)镀(Du)膜(Mo)设(She)备(Bei)、(?)光(Guang)纤(Xian)熔(Rong)炼(Lian)、(?)微(Wei)反(Fan)应(Ying)装(Zhuang)置(Zhi)、(?)混(Hun)气(Qi)配(Pei)气(Qi)系(Xi)统(Tong)、(?)毛(Mao)细(Xi)管(Guan)测(Ce)量(Liang)、(?)气(Qi)相(Xiang)色(Se)谱(Pu)仪(Yi)及(Ji)其(Qi)它(Ta)分(Fen)析(Xi)仪(Yi)器(Qi)。(?)D07 系(Xi)列(Lie)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)和(He)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)具(Ju)有(You)精(Jing)度(Du)高(Gao)、(?)重(Zhong)复(Fu)性(Xing)好(Hao)、(?)响(Xiang)应(Ying)速(Su)度(Du)快(Kuai)、(?)软(Ruan)启(Qi)动(Dong)、(?)稳(Wen)定(Ding)可(Ke)靠(Kao)、(?)工(Gong)作(Zuo)压(Ya)力(Li)范(Fan)围(Wei)宽(Kuan)等(Deng)特(Te)点(Dian)(可(Ke)以(Yi)在(Zai)高(Gao)压(Ya)或(Huo)真(Zhen)空(Kong)条(Tiao)件(Jian)下(Xia)工(Gong)作(Zuo)), 其(Qi)操(Cao)作(Zuo)使(Shi)用(Yong)方(Fang)便(Bian),可(Ke)任(Ren)意(Yi)位(Wei)置(Zhi)安(An)装(Zhuang), 并(Bing)便(Bian)于(Yu)与(Yu)计(Ji)算(Suan)机(Ji)连(Lian)接(Jie)实(Shi)现(Xian)自(Zi)动(Dong)控(Kong)制(Zhi)。(?)D07 系(Xi)列(Lie)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)和(He)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)一(Yi)般(Ban)与(Yu) D08 系(Xi)列(Lie)流(Liu)量(Liang)显(Xian)示(Shi)仪(Yi)等(Deng)产(Chan)品(Pin)配(Pei)套(Tao)使(Shi)用(Yong),控(Kong)制(Zhi)器(Qi)与(Yu)显(Xian)示(Shi)仪(Yi)之(Zhi)间(Jian)用(Yong)专(Zhuan)用(Yong)电(Dian)缆(Lan)连(Lian)接(Jie)

七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)流(Liu)量(Liang)计(Ji)

3. 主(Zhu)要(Yao)技(Ji)术(Shu)指(Zhi)标(Biao)表(Biao) 1. D07-19B 型(Xing) MFC 性(Xing)能(Neng)指(Zhi)标(Biao)编(Bian)号(Hao) 项(Xiang) 目(Mu) D07-19B1 流(Liu)量(Liang)规(Gui)格(Ge)( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 准(Zhun)确(Que)度(Du) ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 线(Xian)性(Xing) ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重(Zhong)复(Fu)精(Jing)度(Du) ±0.2 % F.S.5 响(Xiang)应(Ying)时(Shi)间(Jian) ≤2 sec6 工(Gong)作(Zuo)压(Ya)差(Cha)范(Fan)围(Wei) ≤10SLM：(?) 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞(?)10SLM：(?) 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 最(Zui)大(Da)工(Gong)作(Zuo)压(Ya)力(Li) 1 MPa8 耐(Nai)压(Ya) 3 MPa (435.1 psig)9 工(Gong)作(Zuo)环(Huan)境(Jing)温(Wen)度(Du) 5 ℃(?) ~ 45 ℃(?)10 输(Shu)入(Ru)输(Shu)出(Chu)信(Xin)号(Hao) 0 V ~ +5.00 V(输(Shu)入(Ru)阻(Zu)抗(Kang)大(Da)于(Yu) 100K, 输(Shu)出(Chu)电(Dian)流(Liu)不(Bu)大(Da)于(Yu) 3mA)11 电(Dian)源(Yuan) +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 外(Wai)形(Xing)尺(Chi)寸(Cun) 见(Jian)图(Tu) 413 重(Zhong)量(Liang) 0.95 kg注(Zhu)意(Yi) :质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)和(He)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)出(Chu)厂(Chang)通(Tong)常(Chang)用(Yong)氮(Dan)气(Qi)（(?)N2）(?)标(Biao)定(Ding)。(?)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)的(De)单(Dan)位(Wei)规(Gui)定(Ding)为(Wei): SCCM (标(Biao)准(Zhun)毫(Hao)升(Sheng)/分(Fen)); SLM (标(Biao)准(Zhun)升(Sheng)/分(Fen))标(Biao)准(Zhun)状(Zhuang)态(Tai)规(Gui)定(Ding)为(Wei): 温(Wen)度(Du) --- 273.15K ( 0℃(?) ); 气(Qi)压(Ya) — 101325 Pa (760mm Hg)在(Zai)七(Qi)星(Xing)流(Liu)量(Liang)计(Ji) MFC/MFM 产(Chan)品(Pin)中(Zhong)心(Xin)，(?)单(Dan)位(Wei) SCCM 和(He)“mL/min, 0℃(?),1atm”等(Deng)同(Tong)，(?)单(Dan)位(Wei) SLM 和(He)“L/min, 0℃(?),1atm”等(Deng)同(Tong)。(?) 第(Di) 4 页(Ye) 共(Gong) 28 页(Ye)F.S. (Full Scale): 满(Man)量(Liang)程(Cheng)值(Zhi)表(Biao) 2. D07-19BM 型(Xing) MFM 性(Xing)能(Neng)指(Zhi)标(Biao)编(Bian)号(Hao) 项(Xiang) 目(Mu) D07-19BM1 流(Liu)量(Liang)规(Gui)格(Ge) ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 准(Zhun)确(Que)度(Du) ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 线(Xian)性(Xing) ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重(Zhong)复(Fu)精(Jing)度(Du) ±0.2 % F.S.5 响(Xiang)应(Ying)时(Shi)间(Jian) ≤2sec6 气(Qi)压(Ya)降(Jiang) <0.02 MPa (2.9 psid)7 最(Zui)大(Da)工(Gong)作(Zuo)压(Ya)力(Li) 1 MPa8 耐(Nai)压(Ya) 10 MPa (1450.4 psig)9 工(Gong)作(Zuo)环(Huan)境(Jing)温(Wen)度(Du) 5 ℃(?) ~ 45 ℃(?)10 输(Shu)出(Chu)信(Xin)号(Hao) 0 V ~ +5.00 V(输(Shu)入(Ru)阻(Zu)抗(Kang)大(Da)于(Yu) 100K, 输(Shu)出(Chu)电(Dian)流(Liu)不(Bu)大(Da)于(Yu) 3mA)11 电(Dian)源(Yuan) +15 V 50 mA－(?)15 V 50 mA12 外(Wai)形(Xing)尺(Chi)寸(Cun) 见(Jian)图(Tu) 413 重(Zhong)量(Liang) 0.7 kg各(Ge)型(Xing)号(Hao)产(Chan)品(Pin)的(De)主(Zhu)要(Yao)技(Ji)术(Shu)指(Zhi)标(Biao)见(Jian)表(Biao) 1 和(He)表(Biao) 2。(?)D07-19BM 型(Xing)是(Shi) D07-19B 型(Xing)的(De)流(Liu)量(Liang)测(Ce)量(Liang)部(Bu)分(Fen)，(?)同(Tong)类(Lei)型(Xing)的(De) MFM 与(Yu) MFC 在(Zai)流(Liu)量(Liang)计(Ji)量(Liang)部(Bu)分(Fen)的(De)技(Ji)术(Shu)指(Zhi)标(Biao)相(Xiang)同(Tong)。(?)4. 结(Jie)构(Gou)和(He)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)4.1 结(Jie)构(Gou)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)由(You)流(Liu)量(Liang)传(Chuan)感(Gan)器(Qi), 分(Fen)流(Liu)器(Qi)通(Tong)道(Dao)和(He)流(Liu)量(Liang)放(Fang)大(Da)电(Dian)路(Lu)等(Deng)部(Bu)件(Jian)组(Zu)成(Cheng)；(?)在(Zai)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)计(Ji)的(De)基(Ji)础(Chu)上(Shang)，(?)再(Zai)加(Jia)上(Shang)调(Diao)节(Jie)阀(Fa)门(Men)和(He) PID 控(Kong)制(Zhi)电(Dian)路(Lu)就(Jiu)构(Gou)成(Cheng)了(Liao)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)。(?)D07-19B 型(Xing)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi), 打(Da)开(Kai)外(Wai)罩(Zhao)后(Hou)的(De)结(Jie)构(Gou)如(Ru)图(Tu) 2 所(Suo)示(Shi)。(?)

• D07-7七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)流(Liu)量(Liang)计(Ji)
• CS300七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)
• D08-1F七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)
• K1000七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang) 质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)实(Shi)验(Yan)室(Shi)
• D07-9七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)型(Xing)号(Hao)齐(Qi)全(Quan)价(Jia)格(Ge)面(Mian)议(Yi)
• D07-19C七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang)气(Qi)体(Ti)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)实(Shi)验(Yan)室(Shi)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)
• D07-7B七(Qi)星(Xing)华(Hua)创(Chuang) 气(Qi)体(Ti)质(Zhi)量(Liang)流(Liu)量(Liang)控(Kong)制(Zhi)器(Qi)